p60系列z向大行程直线微运动平台p60.z500是以压电陶瓷为驱动源，并采用放大机构的一维z向运动的大行程直线微运动平台，是压电与柔性铰链相结合的纳米定位系统，可达毫秒级响应、纳米级定位精度，并可选配高精度传感器进行闭环精密定位控制。该产品非常适于定位应用，如干涉中光路径长度修正、显微或扫描应用中的样品定位等，已广泛应用于干涉、显微、精密加工等领域。
p60.z500系列压电扫描台，采用机构放大设计原理，可实现500μm的运动行程，优异的结构可承载2kg的负载，空载谐振频率达290hz。
带载阶跃时间
p60.z500s 带载350g时，阶跃时间200ms。
技术参数
型号：p60.z500
运动自由度：z
行程范围（0~120v）：400μm
行程范围（0~150v）：500μm
闭环传感器：sgs
闭/开环分辨率：20/5nm
闭环线性度:0.1%f.s.
闭环重复定位精度：0.05%f.s.
空载谐振频率：290hz
承载能力：2kg
静电容量：28.8μf
材质：钢、铝
重量（不含线）：0.65kg