该法利用臭氧对254nm波长的紫外线特征吸收的特性，依据朗伯一比尔定律测量紫外线通过臭氧的光强变化来检测臭氧浓度。该法不但适用于检测气体中臭氧浓度，也可以检测水中溶存的臭氧浓度，已被我国作为环境空气中测定臭氧的标准方法。
电化学法主要是被测臭氧气体以扩散方式和仪器接触，并发生反应，输出稳定的电信号。气体浓度值可以稳定地用数据显示在显示屏上。紫外吸收法的原理为臭氧对波长 λ=254nm紫外光具有zui大吸收稀疏，在此波长下紫外光通过臭氧层会产生衰减，符合兰波特-比尔定律。目前，紫外吸收法已被美国等国家作为臭氧分析的标准方法。其采用紫外线吸收法具有检测精度高、稳定性好，其他氧化剂干扰小等优点。缺点是价格较高。
光谱分析法是指在光的作用下，通过测量物质产生的发射光、吸收光或散射光的波长和强度来进行分析的方法。在光谱分析中，依据物质对光的选择性吸收而建立起来的分析方法称为吸光光度法。
科学家们已经发现臭氧层能吸收紫外线，研究表明臭氧仅对波长253.7nm的紫外线具有zui大吸收系数，在此波长下紫外线通过臭氧会产生衰减，符合兰波特一比尔定律:该原理已被美国等国家作为臭氧标准分析方法:该臭氧检测仪就是采用紫外线吸收法的原理，用稳定的紫外灯光源产生紫外线，用光波过滤器过滤掉其它波长紫外光，只允许波长253.7nm通过。经过样品光电传感器，再经过臭氧吸收池后，到达采样光电传感器。通过样品光电传感器和采样光电传感器电信号比较，再经过数学模型的计算，就能得出臭氧浓度大小。