光学干涉仪是一种基于光学原理的、利用干涉现象来测量形状和尺寸的高精度仪器。它的应用领域非常广泛，包括机械加工、航空制造、电子设备等领域。
1.光路结构
光学干涉仪通常由光源、分束器、反射镜或透镜组成。经过无数次反射和折射后，两束相互垂直的平行光线在被重新合并之前会发生相位差，并通过检测器判断偏移程度。
2.常见类型
常见的光学干涉仪有：fizeau干涉仪，michelson干涉仪和mach-zehnder干涉。fizeau干涉法可用于替代显微镜作为表面形貌检测手段；michelson干涉法可以被用作双臂悬挂式gravitational-wave探测器中；mach-zehnder系统可以精确地测试材料折射率及其变化率。
3.应用场景
《车间实践》（workshoppractice）音速喷管版型制造：
该例展示了如何使用michelson/fabry-pérot气膜干涉仪验证器的光学测量特点，以便在制造高度精确的喷嘴版本时得到实验室质量控制。
《超声传感最佳化》（ultrasonicssensingoptimization）：
该文阐述了如何通过模拟和实验研究加速fizeau干涉仪中响应距离与孔径之间关系。
4.技术趋势
随着科技不断发展，先进的数字信号处理技术已经被广泛应用于光学干涉仪中。这些新技术可以大大提高检测灵敏度和精确度，并且可以在更高级别上进行数字分析。
5.结论
作为一种非常重要、普遍使用的光学工具，光学干涉仪将持续受到广泛关注和发展。未来，在人工智能及物联网等领域迅速发展下，在设备稳定性、数据可靠性及准确度方面有所改善是十分必要且值得期待的趋势。