真空接触器是否有故障，可以根据其能否准确无误地合闸、分闸并可靠地保持在合闸、分闸位置来判断。主回路方面的故障，可以从接触器例行的检修和维护中发现并排除。
主要的常见故障原因分析如下：
不能储能。不能储能是真空接触器较常见的故障之一，特别是棘轮、棘爪驱动的储能机构，故障概率较高。储能机构要完成储能动作，主要取决于储能电动机、驱动机构、定位件这3 个环节。紧紧抓住这3 个环节，很容易找出故障的症结。
无合闸动作。发生无合闸动作故障，主要与合闸电磁铁是否吸合、储能是否到位、定位件动作是否正常有关。
空合。有合闸动作但合不上闸称之为空合。在分析此类故障时，首先应从合闸保持(锁扣)入手分析，然后再分析是否与储能部分有关。
不分闸。在此需强调指出，接触器发生拒动、空合等情况时，在分析检修接触器主体之前，要充分判断一下原因是否出在控制及二次元件如辅助开关、端子排等方面，然后再进行接触器的分析诊断。