灭菌设备的验证是通过有关参数对灭菌方法进行可靠性验证的。
1、d值
d值是指在一定温度下，杀灭90%微生物（或残存率为10%）所需的灭菌时间。在一定灭菌条件下，不同微生物具有不同的d值；同一微生物在不同灭菌条件下，d值亦不相同。因此d值随微生物的种类、环境和灭菌温度变化而异。
2、z值
z值是指灭菌时间减少到原来的1/10所需升高的温度或在相同灭菌时间内，杀灭99%的微生物所需提高的温度。
3、f值
f值为在一定温度（t）下，给定z值所产生的灭菌效果与在参比温度（t0）下给定z值所产生的灭菌效果相同时，所相当的灭菌时间，以min为单位。f值常用于干热灭菌。
4、f0值
f0值为一定灭菌温度（t）下，z为10℃时所产生的灭菌效果与121℃，z值为10℃所产生的灭菌效果相同时所相当的时间（min）。也就是说，不管温度如何变化，t分钟内的灭菌效果相当于在121℃下灭菌f0 分钟的效果。f0目前仅应用于湿热灭菌。