图超声波加工原理图。
超声波发生器将工频交流电能，转变为有一定功率输出的超声频电振荡，通过换能器将超声频电振荡转变为超声机械振动。此时振幅一般较小，再通过振幅扩大棒（变幅杆），使固定在变幅杆端部的工具振幅增大到0.01～0.15mm。利用工具端面的超声（16～25khz）振动，使工作液（普通水）中的悬浮磨粒（碳化硅、氧化铝、碳化硼或金刚石粉）对工件表面产生撞击抛磨，实现加工。
超声波加工的特点及应用
1）适用于加工各种脆性金属材料和非金属材料，如玻璃、陶瓷、半导体、宝石、金刚石等。
2）可加工各种复杂形状的型孔、型腔、形面。
3）被加工表面无残余应力，无破坏层，加工精度较高，尺寸精度可达0.01～0.05mm。
4）加工过程受力小，热影响小，可加工薄壁、薄片等易变形零件。
5）单纯的超声波加工，加工效率较低。采用超声复合加工（如超声车削，超声磨削，超声电解加工，超声线切割等），可显著提高加工效率。