臭氧消毒具有广谱性和清洁性，对病毒、细菌繁殖体、细菌芽孢、真菌、霉菌孢子等病原微生物均具有杀灭作用，且臭氧的合成原料是空气或者氧气，合成后会快速分解为氧气，消毒后不会残留有害物质。臭氧消毒还具有高效性，同一时间内臭氧对病毒的杀灭效果是氯杀灭效果的几倍，与氯消毒相比，臭氧在很短的接触时间内可取得相同的消毒效果。
相比较而言，臭氧更适用于水体的消毒。研究表明，水温对水中臭氧浓度有非常显著的影响，随着水温的升高，水中臭氧浓度快速降低，且半衰期快速缩短。由臭氧水喷雾杀菌处理时，以15 mg/l 的臭氧水进行喷雾消毒，作用15 min，对白色念珠菌、黑曲霉孢子的杀灭率均低于40%]，达不到杀菌效果。说明臭氧水喷雾法的杀菌效果较差，不能对载体上附着的真菌进行有效的杀灭。采用载体浸泡定量杀菌，设定合理的时间和浓度，可以达到要达到*的杀灭率。15 mg/l臭氧水浸泡10 min 能够*杀灭载体上的白色念珠菌，10 mg/l 臭氧水浸泡10 min 或15 mg/l 臭氧水浸泡5 min 能够*杀灭载体上的黑曲霉孢子。