氧化物plasma等离子处理镀膜的汽化源有电阻式和电子束:
蒸镀的原材料可以是非金属的，可以是siox.sio2或al2o3.mgo.y2o3.tio2.gd2o3等其它氧化物，而siox.alox常用。氧化物plasma等离子处理镀膜的汽化源有两种:电阻式和电子束式。电阻式汽化源根据电阻加热的原理加热蒸镀原料，高加热温度可达1700℃。电子束蒸发源由加速电子碰撞蒸镀原料汽化。蒸发器配备了电子枪，通过磁场或电场对电子束进行加速聚集，使其集中于汽化物质的局部位置，形成加热束斑。光束斑点温度达到3000~6000℃，能量密度达到20kw/cm2。
在非金属涂层中，汽化原料的高气化温度和汽化会导致汽化过程中汽化区域的高温，大量的辐射热使基材吸收过多的热能，提高温度；同时，气化分子、离子等颗粒在基材表面凝结成膜时释放的热量导致基材温度过高，热变形严重。高温变形后，基材起皱，导致涂层不均匀或断裂，不能改善涂层的阻隔性。结果表明，软化点和熔点低的塑料膜汽化效果不好。实验表明，只有pp.pet.pa等材料才能更适合氧化物涂层加工。可以肯定地说，plasma等离子处理技术是改善各种塑料薄膜表面性能和功能的好方法。经plasma等离子处理后，膜表面可明显增大，其润湿性能和粘接性能得到改善。