过氧化氢灭菌器通常由灭菌室、真空系统、过氧化氢注入系统、控制系统等组成，还可以配置等离子体发生装置。
工作原理是通过汽化的过氧化氢对灭菌室内物品进行作用，使微生物蛋白质和遗传物质变性从而导致微生物死亡，以达到灭菌的目的。若配置有等离子体发生器，可通过等离子体发生器使汽化的过氧化氢形成过氧化氢等离子态，结合过氧化氢气体及过氧化氢等离子体对灭菌室内物品进行低温灭菌。
下面是过氧化氢灭菌器的大概操作流程：
打开机器正面电源开关，点进去输入设定的密码，设备即进入待机的状态
按开门键放入包装好的器械
按关门键关好设备门选择灭菌程序
根据说明书的要求，选择相应的灭菌程序，设备即进入自动工作状态
灭菌程序结束后，显示屏返回到主界面，并发出结束灭菌提示音，取出灭菌物品，并关好设备门
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