1、首先是外观检查；靠视觉可以发现下列异常现象：伺服电机外部紧固件是否有松动，零部件是否有毁坏，设备表面是否有油污、腐蚀现象；伺服电机的各接触点和连接处是否有变色、烧痕和烟迹等现象。发生这些现象原因是由于伺服电机局部过热、导体接触不良或绕组烧毁等；伺服电机仪表指示是否正常及电压表无指示或不正常，则表明电源电压不平衡和导体接触不良等问题。而电流表指示过大，则表明伺服电机过载、轴承故障、绕组匝间短路等；
2、采用听诊棒靠听觉可以听到电动机的各种杂音；其中包括伺服电机电磁噪声、通风噪声、机械摩擦声、轴承杂音等，从而可判断出伺服电机的故障原因。引起噪声大的原因在机械方面有：轴承故障、机械不平衡、紧固螺钉松动、联轴器连接不符要求、定转子铁心相擦等，这些简单的杂音问题便可以通过听诊棒准确辨认。
3、靠触觉用手摸机壳表面可以发现电动机的温度过高和震动现象，*伺服电机造成震动的原因是：机械负载不平衡、各紧固部件有松动现象、电动机基础强度不够、联轴器连接不当、气隙不均或混入杂物、电压不平衡、单相运转、绕组故障、轴承故障等，这些问题便可以通过触觉来感受到。