臭氧(o3)水处理工艺类型很多，主要有以下几种类型：
①臭氧(o3)+生物活性炭法（o-b工艺），
②臭氧(o3)+混凝法，
③臭氧(o3)+活性炭吸附法，
④臭氧(o3)+活性污泥法，
⑤臭氧(o3)+膜处理法，
⑥臭氧(o3)+超声波法。
臭氧(o3)+生物活性炭法主要过程是：
先往水中投加臭氧，其强氧化性使复杂有机物分子断链成小分子，从而易于生物降解，同时提高了水中溶解氧浓度。然后再进入生物活性炭装置，易降解有机物被活性炭富集，经好氧微生物氧化分解为co2和h2o等。该工艺的特点是臭氧预处理提高了废水的可生化性，有机物的富集和富氧提高了生化反应速度;活性炭上的有机物生物降解又可恢复活性炭吸附性能。
臭氧(o3)+混凝法基于臭氧(o3)对亲水性物质强烈的破坏力，当亲水性物质转变成疏水性时，混凝沉淀效果将大大改善。
臭氧(o3)+活性炭吸附法是指：
由于活性炭微孔孔隙小，限制了对大分子物质的吸附，臭氧(o3)可破坏物质分子结构，形成小分子，增大活性炭吸附容量。
臭氧(o3)+活性污泥法的作用如同生物活性炭法，目的在于提高废水的可生化性。
臭氧(o3)+膜处理法，臭氧(o3)常用在超滤(uf)的后处理上。
臭氧(o3)+超声波处理法，超声功率的增大可增加反应速度，臭氧(o3)通入量增大可加深生物反应程度，提高复杂有机物去除率。
臭氧单元处理主要是催化氧化法，如碱催化氧化、光催化氧化和多相催化氧化等，具体处理方法有：
①臭氧(o3)/h2o2，
②臭氧(o3)/uv(紫外光)，
③臭氧(o3)/固体催化剂(金属及其氧化物，活性炭等)。
从反应机理看：
①属于碱催化臭氧化，
②属于光催化臭氧化，
③属于多相催化臭氧化。
碱催化臭氧化反应的途径是：
通过oh-催化，生成-oh自由基，再氧化分解有机物，-oh基产生过程如下：
o3+oh→o2+ho2，o3+o2→o3+o2，o3+h+→ho3→oh+o2
光催化氧化是以紫外线为能源，以臭氧为氧化剂，利用臭氧在紫外线照射下生成的活泼次生氧化剂来氧化有机物，gary，-peyton等认为臭氧光解先产生h2o2，h2o2在紫外光的照射下又产生-oh基，进入oh自由基循环：
o2-+o3→o3+o2，o3+h+→ho3→oh+o2
利用光催化臭氧化法处理难降解有机物废水时，部分难降解有机物在紫外光照射下，提高了能级，处于激发状态，与oh基发生羟基化反应，生成易于生物降解的新物质。
多相催化臭氧化是近几年发展起来的新技术，其金属催化的目的是促进臭氧(o3)的分解，以产生活泼的-oh自由基强化其氧化作用，常用的催化剂有cuo、fe2o3、nio、tio2、mn等。