由于真空设备长期运转及其它一些因素的影响，扩散泵的性能可能会逐渐变坏，现将使用中经常出现的一些问题如述如下;
1） 极限真空变低
原因： a.系统中有渗漏；
b.系统太脏；
c.泵油污染；
d.加热功率不够；
e.冷却水不足；
f.过量或过冷的冷却水；
g.前级压力高；检查密封性能及前级管道是否有泄漏现象；
h.快冷管内有水。
2） 抽气较慢
原因： a.加热功率低；
b.油量不足；
c.喷帽安装位置不当或受损。
3） 进口压力波动
原因： a.加热器输入功率不当；
b.油脱气；
c.扩散泵进口前面系统有渗漏。
4） 工作腔污染大
原因： a.前级压力高；
b.在高于10-1pa压力下长期工作；
c.系统操作有误。
5） 返油率过大：
原因： a. 顶喷嘴帽松动，间隙过大；
b. 加热功率不对