日本ulvac cfb-1200复合分子泵一、产品简介
复合分子泵是靠高速转动的转子携带气体分子获得超高真空的一种机械真空泵，是由涡轮分子泵和盘式牵引泵组合而成，它同时具有涡轮分子泵分子流时抽速大、压缩比高，牵引泵高压强时抽速大、压缩比高的特点，扩展了分子泵的应用范围，广泛应用于光伏、照明、航天航空、半导体、能源、、激光、家电、材料、汽车、科研等真空技术的各个领域。
日本ulvac cfb-1200复合分子泵二、产品特点
复合分子泵对被抽气体无选择性、无记忆效应；由于对分子量大的气体有很高的压缩比，因此该泵不需要冷阱和捕油挡板即可获得清洁的高真空和超高真空。
日本ulvac cfb-1200复合分子泵三、主要性能指标
型号
cfb-1200
订货号
3153
3154
进气口法兰
—
lf200
cf200
排气口法兰
—
kf40
抽气速率
l/s
1200
压缩比n2/h2
—
1×109/1×104
极限压强
pa
5×10-7
8×10-8
电机转速
rpm
24000
启动时间
min
＜5
振动值
μm
≤0.1
前极泵
l/s
8-15
冷却水温度
℃
≤20
泵体烘烤温度
℃
<120
冷却水流量
l/min
1
加热器功率
w
<600
加热器输入电压
v
ac220
安装方向
—
垂直±5°
重量
kg
～34
四、特性曲线及安装尺寸
cfb系列复合分子泵安装尺寸表
型号规格
cfb-1200
进气口法兰
lf200
cf200
d1
ф240
ф253
d2
ф267
ф267
d3
□167.6
□167.6
l1
142
142
l2
152
152
h1
393
393
h2
108
108
h3
135.5
135.5
h4
104
104
泵腿螺钉孔
4-m8
4-m8
关键词：真空泵 加热器