在超精密加工过程中，环境振动对加工精度和表面质量有较大的影响。3050加工中心环境振动的烦扰，不只会引起机床本体的振动，而且更重要的是会引起切削刀具与被加工零件间的方位改动，后者将直接反映到被加工零件的加工表面质量上。因而有必要设置功用优秀的隔振设备。隔振分为无源隔振和有源隔振，其等效模型。
无源隔振3050加工中心这种隔振办法不需要系统以外的动力设备支撑隔振设备工作。3050加工中心传统的隔振一般都是选用具有一定刚度k和阻尼x的隔振元件的无源隔振。有源隔振，如图1b。这种隔振办法需要系统以外的动力设备支撑隔振设备工作。其原理是经过传感器将所要消除的振动信号精确地检测出来，然后经过反响系统将所测信号进行一定处置，3050加工中心输出反响量k1并去控制执行机构，使所发作的激振力f抵消振动烦扰，抵达消除振动的目的。
这篇文章在哈尔滨工业大学研制的以空气弹簧作为隔振元件的超精密机床上进行有源隔振实验研讨。隔振理论分析无源隔振无源隔振系统模型所示，3050加工中心由牛顿第二定律有为隔振台振动位移、速度、加速度分别为环境振动位移、速度。