当均质机的压力达到或超过20000psi(1psi=1英磅/平方英寸) 以上时，高压均质机称为超高压均质机。它可以使悬浊液状态的物料在超高压(最高可达60000psi)作用下，高速流过具有特殊内部结构的容腔(高压均质腔)，使物料发生物理、化学、结构性质等一系列变化，最终达到均质的效果。 超高压均质机相比高压均质机有更高的压力，一般在纳米级均质过程使用。
均质原理：样品(乳液或悬浮液)在高压下通过均质阀产生剪切、撞击、空穴作用。当样品在高压下通过均质阀，样品加速并在压力下势能转换，产生剪切效应、撞击效应和空穴效应。
微斯特均质技术采用微流体金刚石相互作用室(dixc)在高剪切均质器中生成均匀的纳米颗粒。处理后的流体通过y型和z型微流体腔(也可以被视为连续微反应器)内的固定几何形状，以形成均匀的处理轮廓。通过这种方法，可以实现，纳米级乳化，分散，粉碎和破壁等效果。