微区x射线荧光光谱分析技术是对大尺寸不规则、不均匀样品、甚至微小包裹体进行高灵敏度、非破坏性的元素分析方法。
1. 矩形的真空室设计，样品不需制备，可直接放入舱内检测；
2. 优化的x射线光路，小光斑直径降到20µm范围内，且提供高的束流；
3. 多种仪器配置：可以选择增加了x射线管或探测器；
4. 通过使用真空模式（低噪音泵）和slew窗口，获得轻质元素的高灵敏度；
5. easyload功能：方便样本的装入、取出，测量同时可以通过两个影像系统查看样品被测位置，自动聚焦autofocus，样品台移动和其它操作由鼠标控制。