x射线荧光光谱仪在使用中也会有一些故障出现，因此了解仪器的使用方法、常见故障原因、如何维修保养等资料，有利于实验人员更加快速准确的操纵。
常见故障及原因：
一、分光室真空抽不下去
活塞0-ring脏或者是流气探测器窗口破裂
二、高压(ht)加不上
1、检查x-射线指示灯是否烧断
2、检查内循环水水温是否在正常范围内
3、检查内循环水电导率是否在正常范围内
4、检查内循环水水流量是否在正常范围内
5、检查内循环水水箱水位(必要时添加去离子水)
6、检查光学室真空度是否小于100pa
三、探测器气体没有流量
在“光谱仪状态”视窗单击start detector gas按钮。如果还没有流量，调节流量针阀。
四、脉冲高度发生漂移
在tcm4400维护软件中，调节探测器高压。
五、探测器能量分辩率恶化
更换流气探测气阳极丝( 50um)或流气探测气窗膜(1um)
六、内部转盘转动超时
检查或更换传动皮带及定位传感器
七、活塞上升或下降超时
检查压缩空气压力与定位传感器是否正常
八、cap关闭或打开超时
检查压缩空气压力与定位传感器是否正常
九、superq软件故障
重新安装superq3.0,拷贝进备份的userdata数据库。
十、仪器恒温失控
检查恒温传感器、加热炉丝和电源
十一、内循环水没有流量或流量不足
1、检查水泵电源，如有问题请更换水泵。
2、调节流量(此工作须由仪器公司维修工程师完成)