车间油雾净化设备的净化作用机理包含两个方面：
一、在产生等离子体的过程中，高频放电所产生的瞬间高能足够打开一些有害气体分子的化学能，使之分解为单质原子或无害分子；
二、等离子体中包含大量的高能电子、正负离子、激发态粒子和具有强氧化性的自由基，这些活性粒子和部分臭气分子碰撞结合，在电场作用下，使臭气分子处于激发态。当臭气分子获得的能量大于其分子键能的结合能时，臭气分子的化学键断裂，直接分解成单质原子或由单一原子构成得无害气体分子。同时产生的大量oh、ho2、o等活性自由基和氧化性较强的o3，与有害气体分子发生化学反应，生成无害产物。
三、车间油雾净化设备还有一定的净化作用，具备显着的生物效应。发生的静电作用在各种细菌、病毒等微生物表面产生的电能剪切力大于细胞膜表面张力，使细胞膜遭到破坏，导致微生物死亡。因此低工业空气净化器除臭技术具有较好的消毒杀菌之功效。
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