小型单晶圆狭缝涂布机csc-200的特点
1.注射器方式支持低粘度~高粘度,薄膜~厚膜
【应用测试结果】湿膜厚度 5μm~200μm涂布液粘度 2cps~8000cps2.分切模具的宽度为100mm,宽度为200mm,涂层宽度可通过垫片调节。3.狭缝模具的平行度通过开口调节。
4.狭缝模具与基板之间的间隙以1μm的增量调整。5.平台采用多孔真空吸附方法,兼容薄膜和金属箔。6. csc-100可以
安装在手套箱中[关于涂层测试]・如果您来办公室,将免费进行第一次演示测试。・第二次及以后的测试和样品制作将收费。・也可进行现场测试。・如果您愿意,请与我们联系。【狭缝涂布机的技巧】(1)根据涂布液的流量选择最佳的狭缝宽度和出料速度
(2)根据出料速度调整涂布速度(载物台移动速度)
(3) 根据薄膜厚度调整工件和模具之间的间隙并优化提前时间