洁净室等级标准及气流形式净化的定义
净化（洁净）技术及玷污（微玷污）控制技术，上常用玷污控制一词，即对加工或处理对象在加工处理过程中由于玷污物质的存在，影响对象的成功率，而对到达对象表面的玷污物质进行控制后，能提高对象的成功率，此有效控制玷污物质（亦包括加工或处理对象带有对人体有害的玷污物质需进行处理及隔离）的技术。
洁净室等级标准（美国联邦标准209e）
等级 >=0.5um尘粒数 >=5um尘粒数
颗/立方英尺 颗/立方米 颗/立方英尺 颗/立方米
100 100 3,500 / /
1,000 1,000 35,000 7 250
10,000 10,000 350,000 70 2,500
100,000 100,000 3,500,000 700 25,000
洁净室气流形式及其特点
气流形式 适用洁净级别 优点 缺点
垂直层流底回风 10级,100级 1 效果很*
2 运转即成稳定状态
3 粉尘堆集及再飘浮极少
4 管理容易 1 设备造价非常高
2 扩展比较困难
3 维护费用高
垂直层流侧回风 10级,100级 1 效果*
2 运转即成稳定状态
3 粉尘堆集及再飘浮极少
4 管理容易 1 设备造价非常高
2 扩展比较困难
3 维护费用高
混流方式 100级,1000级 1 结构比较简单
2 效果较好 1 造价较高
2 运行,维护费较高
乱流方式 1000级,
10000级,
100000级 1 结构简单
2 造价低
3 扩展方便 1 易产生涡流
2 不易管理