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il 系列气体质量流量计及控制器对于低流量要求全不锈钢浸湿材场合是一个理想的选择。 它提供低交差污染及快捷的净化周期。 il 系列是紧凑，重量轻及比其它同类产品要便宜。 il系列运用了一个唯*的同轴的调节阀，使得所需要的部件更少，提供一个更直接的流量通道。
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