用于真空的准分子紫外线系统介绍
基于准分子光源特点，我们来看看准分子光源是如何产生作用的。以准分子波长172 nm为例，紫外线照射固体表面后，表面的污染物有机分子结合被强的光能切断、氧化，而后分解成氧气和氢气等易挥发性物质，最终挥发消失，被清洗后的表面清洁度高。1、打破分子键打破有机物质的分子键的能量需要超过物质结合能的光能，同时物质的能量吸收（激发）越大，就越容易引发反应（分解）并且所需的处理时间越短。因此使用低压紫外线灯无法打破的结合能可以使用准分子灯产生的 172nm 波长进行分解。2、大量产生激发态氧原子
准分子紫外线灯与传统汞紫外线灯比较，光强超大，靶向精准，无汞制造，绿色环保，可回收，无二次污染。与低压紫外灯的185nm波长相比，准分子灯172nm波长的分子氧吸收系数大20倍左右。这不仅可以产生高密度的活性氧，而且通过直接作用于氧气，可以产生具有强大氧化能力的强激发氧。
eximer真空光源和准分子真空静电消除器易于安装到带 icf114 法兰的真空室视口。通过使用风冷准分子灯的简单系统结构，实现了低成本和高性能。 可以瞬时打开和关闭。
特征真空室等静电问题的对策
卷对卷薄膜抗静电
晶圆等静电卡盘的吸附和运输措施
防止因电气化而吸附异物的对策
电子显微镜的静电对策
通过带电实现均匀的薄膜厚度，防止针孔
规范
波长 172 纳米
真空法兰端口 icf114 （兼容jis法兰）
冷却方式 风冷
功能 灯亮起、熄灭
光源尺寸 宽 300 x 高 157 x 深 180 mm
电源尺寸 宽 250 x 高 133 x 深 200 mm
权力 ac100v 50/60hz 2a 带接地端子
气 n2
电缆长度（灯~电源） 0，5 米
环境规格 温度15-30°c，湿度20-80%，无冷凝、腐蚀、振动的环境条件。