泵的分类超微型真空泵是一种应用于精密仪器、计量仪器、医疗设备、半导体器件、电子元件、观测仪器等领域的小型化真空泵。它具有超高的抽真空速率和高温耐受性，是一种主要用于高科技制造行业的高端微型化真空泵。下面我们将分别介绍超微型真空泵的种类。
离心泵离心泵是超微型真空泵中较为常见的一种泵，它具有构造简单、体积小巧、性能可靠、维护方便的特点，其工作原理是将气体分离成分离室并抽出离心力。这种泵分为单级泵和多级泵，具有不同级别的泵会产生更高的真空度。
旋转螺杆泵旋转螺杆泵是精度高、噪音低、运行平稳的一种泵，它由两个关键部件——转子和定子组成。在泵转动时，它能将气体逼出泵腔，形成泵排放口边缘的真空压力，从而实现抽真空的效果。
磁悬浮离心泵磁悬浮离心泵是一种全封闭式的泵，它采用磁力驱动器和磁力轴承支撑泵转子。这种泵无需真空密封件，避免了漏气，无摩擦产生，使得抽气过程非常稳定、干净，可减轻装置的维护工作并延长设备寿命。
根式泵根式泵也称为“前级泵”，它是一种容积式泵，主要用于低真空度的加速排气，根据使用场合不同分成两类，一种是单级泵，适用于需求低真空度的环境，另一种则是多级泵，可用于高真空度和超高真空度。
离子泵离子泵属于高真空泵，其特点是对气体分子径迹的选择性吸附，是当前最高真空度泵的代表。它由离子发生器、离子抛射器、力场缩聚器和靶板等组成，可以在极低压力下，将气体转化为正或负电离子，将气体排向靶板吸附，再通过吸附附着于靶板的分子排出导致真空度增加。
旋转爪泵旋转爪泵属于重力势能泵、容积泵类的中等真空度泵，是一种机械以压缩空气真空的方式工作，具有精度高，体积小巧，性能可靠的特点。它的工作原理是将相邻的两个螺旋状旋挖（旋挖组）以特定的方式咬合，加上低速的相对转动，将气体从一个端口位移到另一个端口，达到抽气的目的。
氦气泵氦气泵也称超导泵，是一种利用超导电路的电磁感应抽真空的泵类。它能够释放纯净的氦气，将各种气体排空，达到高度的真空深度。氦气泵通常用于电磁场强度要求高、要求清洁的场合，如在各种超导漂浮体和磁悬浮制成领域中使用。
触摸屏式超微型真空泵触摸屏式超微型真空泵是一款集成率高，操作便捷，可实现人-机对话的泵类。它采用与手机一样的电容屏设计，轻轻一扫即可看到真空度值和泵的状态。此外，触摸屏中还可设置工作时间及收发极的参数，多项科技设计极大地提升了泵类的智能化水平。
真空计真空计是用于检测真空度的测量仪器，其工作原理根据检测原理不同分为热离子型、冷阴极型、红外型和荧光型等。其中热离子型是最常见的一种真空计，它将电子伏特表的电场应用在热阴极表面，将表面的气体分子离子化，从而使离子向阴极靠近，这时可通过离子阴极电极之间的电流来计算压力。
保养维护定期清洗：无论是机器内部还是外部，都需要定期清洗，保证泵类油污不导致故障。
加油润滑：有些泵类需要加油，比如根式泵，而有些则需要定期润滑，防止机器损坏。
替换配件：泵类使用时间长了或经过大量工作后，需要更换配件，以保证更好的抽气能力。
防止过载：泵类在工作时要注意其负载情况，高负载工作往往会使泵类磨损更快、故障率更高，所以要选择适合负载情况的泵类使用。
保持清洁：使用后，需清理好放在干燥通风处，以免积累过多灰尘污垢。
注意事项根据泵类使用情况选择适当的泵类，避免使用过度导致的影响。
泵类必须安装在防震防潮处，保管室内必须保持干净，泵类外表必须保持清洁。
泵类使用时须按说明书所提供的正常操作流程来使用。
急着使用时，若发现泵类的油位偏低，不可慌乱加入油液，哈工大要加入正确重量的油液，才能保证泵类的正常运行。
泵类避免震动和碰撞，以免在长期使用中导致故障或性能下降。