p22系列一维θx压电偏转镜p22系列压电偏转镜是一维θx轴偏转的压电偏转镜/快反镜，柔性铰链导向设计具有零摩擦及零静态阻力、优异的导向精度，提供亚微弧度的分辨率和优异的定位稳定性。光束偏转范围可达6mrad, 具有极快的响应速度（毫秒至微秒级），非常适于动态操作（例如跟踪、扫描、漂移及振动消除等）及光学和样品的静态定位。
特点
• 一维θx轴偏转
•偏转角度达3mrad
• 亚毫秒响应时间
• 闭环定位精度高
应用
• 图像处理与稳定
• 激光扫描
• 隔行扫描、抖动
• 光学滤波器/开关
• 光束偏转
• 样品检测
运动方式
p22系列压电偏转镜如下图所示安装时，它产生上下俯仰运动，如下图所示。
安装固定与镜片粘接
p22系列压电偏转镜的镜片负载面为φ15mm的平面，镜片通过粘接方式固定于该面，我们可为您将镜片粘接好，便于您后续使用，收到压电偏转镜后只需安装，即可使用。
p22.u3s压电偏转镜在底端具有两个用于固定的m3安装螺纹孔。
结构原理与控制
p22.u3s偏转镜的移动平面由一个铰链支撑，并且由一个线性压电促动器推动。铰链确定了轴心点，兼起到给压电促动器施加预紧力的作用。单个铰链单个促动器设计的优点是结构简单、体积小巧、性价比高等。如果角度偏转时工作环境温度变化范围较大，推荐使用芯明天差分驱动压电偏转镜。
一个输出通道的压电控制器即可驱动p22.u3s压电偏转镜，可选用芯明天e53.d压电控制器，体积小，功能全，具有闭环伺服控制功能，可通过外部模拟信号或计算机软件进行控制，操作便捷、易于集成。
技术参数
型号：p22.u3s
运动自由度：θx
标称行程（0~120v）：2.5mrad（≈ 520秒）
行程范围（0~150v）：3mrad（≈ 600秒）
传感器类型：sgs
闭/开环分辨率：0.3/0.1μrad
闭环线性度：0.2%f.s.
闭环重复定位精度：0.15%f.s.
空载谐振频率：3khz
闭/开环空载阶跃时间：3/0.8ms
空载频率（10%行程）：100hz
空载频率（100%行程）：40hz
静电容量：1.8μf
材质：钢
重量：80g
注：以上参数是采用 e00/e01系列压电控制器测得。