1、静电库仑力
吸上粉尘、污物带给无器件，增大泄漏或造成短路，使性能受损，成品率和可靠性大大下降。如粉尘粒径 >100μm，铝线宽度约100μm，氧化膜厚度在50μm时，zui易使产品报废，现在线径更细，氧化膜很薄，很小粒径尘粒子就会损害元器件，这 种情形多发生在腐蚀清洗、光刻、点焊和封装等工艺过程中。
2、静电放电esd
①元器件的绝缘氧化膜被击穿， 引线被烧断或线间融短。若人体带上10kv（100pf）的静电荷，触摸器件脚时发生esd，其向大地瞬间形成脉冲放电电流峰值可达20a（10~100s ），不要说高密度，细线径，薄sio2膜的lsi、vlsi、就是一般ic、mos都会遭受损坏。
一般说器件绝缘栅sio2薄膜的耐压场强是 e=（5-10）×106v/cm，如果器件sio2膜厚度取1000，其器件输入脚施加50v-100v以上的静电压就将会被击穿，而人带静电超过50v、100v是极 平常的。
②造成噪声、发射电磁波干扰
esd引起emi其电磁波的前后峰较尖，信号强，相当与电路中几伏的能量， 频率跨越几mh2甚几百mh2的强大噪声，可能引起元器件损坏，设备和传感器不正常工作，甚至引起设备死机。
esd引起的emi还会 引发错误信号的输入，或发生锁存现象。如无尘室中，将晶园片的emif箱放在钢的手推车上，晶园片的esd会通过电感传给手推车，车轮是绝缘 的，则emi的扩散会引起园晶片处理机死机。
③电击人体
人的esd或对人的esd当超过人体电击极限电流5ma以上时 ，人都会有各种伤害感觉，造成工作人员的情绪不安，操作错误。
半导体，平面显示器，光电子等洁净室，尽管做了很多工作， 但洁净室的静电问题仍然影响着生产安全和产品产量，影响着制造成本和效益，影响产品的质量和可靠性。有报导国外工业专家估计，美国由 于静电造成产品的损失平均在8-33%，见表3静电损耗报告。
还有人估计美国每年静电对电子工业毁损价值达100亿美元，日本80 年代曾对报废的电子产品进行分析，由esd引起的损失占1/3。我国半导体，平面液晶显示，光电子等都起步较晚，但静电危害也累有发生，成 品率较低。如北京一公司，smt车间冬季4个月，常因esd造成上百万元损失。上海一家外资企业办公电脑几千台却因esd人员叫苦连天，电脑工 作不正常。一家研究设计院200m2多的电脑房，esd严重，无法正常工作。无锡一家外资企业，曾一度由于esd，产品质量一直不稳定。而银行、 证券公司、机要数据库、监控中心，电力调度室等等。如出现esd就很容易引起干扰，数据遗失，情形就更严重了。