kri 离子源用于离子束溅射镀制 ge 纳米薄膜的研究
在硅衬底上生长 ge 量子点呗认为是可能实现 si 基发光的重要途径, 对 si 基光电子、微电子或单电子器件有重要影响.
某研究所采用伯东 kri离子源用于离子束溅射镀制 ge 纳米薄膜的研究.
该研究采用的是 fjl560 iii 型超高真空多靶磁控与离子束联合溅射设备的离子束溅射室内制备样品, 生长室的本底真空度低于 4x10-4pa.
其系统工作示意图如下：
该研究所的离子束溅射镀膜组成系统主要由溅射室、离子源、溅射靶、基片台等部分组成.
用于溅射的离子源采用伯东的 kri 聚焦型射频离子源 380, 其参数如下:
伯东 kri 聚焦型射频离子源rficp 380 技术参数：
射频离子源型号
rficp 380
discharge 阳极
射频 rficp
离子束流
>1500 ma
离子动能
100-1200 v
栅极直径
30 cm φ
离子束
聚焦
流量
15-50 sccm
通气
ar, kr, xe, o2, n2, h2, 其他
典型压力
< 0.5m torr
长度
39 cm
直径
59 cm
中和器
lfn 2000
推荐理由：
聚焦型溅射离子源一方面可以增加束流密度, 提高溅射率; 另一方面减小离子束的散射面积, 减少散射的离子溅射在靶材以外的地方引起污染
生长室的本底真空度低于 4x10-4pa, 经推荐采用伯东泵组 hicube80 pro, 其技术参数如下：
分子泵组hicube80 pro技术参数:
进气法兰
氮气抽速
n2, l/s
极限真空 hpa
前级泵
型号
前级泵抽速
m³/h
前级真空
安全阀
dn 40 iso-kf
35
< 1x10-7
pascal 2021
18
avc 025 ma
运行结果：
得到了尺寸较均匀的 ge 岛, 岛的数量也很多.
伯东是德国pfeiffer真空泵,检漏仪,质谱仪,真空计, 美国kri考夫曼离子源, 美国hva 真空阀门, 美国intest高低温冲击测试机, 美国 ambrell感应加热设备和日本 ns离子蚀刻机等进口品牌的代理商.