真空计种类那么多，如何选择才？
皮拉尼真空计1皮拉尼真空计原理
·加热电阻丝，使之升温至需要的工作温度
·由于气体粒子与电阻丝碰撞离开时带走了能量，电阻丝的温度会发生变化
·热丝的能量损失与热丝周围的气体浓度及气体成分成比例关系
2衍生出两种类型的皮拉尼规
1）稳定温度，测量施加的电压变化等效测量真空度（inficon psg500）
2）稳定电压，测量温度变化等效测量真空度（热偶规）
3气体的热传导，与下列提条件有关
1）气体类型
2）压力大小
4皮拉尼真空计测量范围与精度
测量范围（空气,氧气,一氧化碳,氮气）：5 x 10-4至 1000 mbar
精度(氮气)：
1x 10-3… 100毫巴 ±15%
5 x 10-4… 1 x 10-3毫巴 ±50%
100 ... 1000毫巴 ±50%
5皮拉尼真空计的优特点
灯丝部分在不影响精度与速度的情况下，加以zui大的保护，
大大延长了灯丝的使用寿命。
6皮拉尼真空计具体型号
·psg050/051
·psg100-s psg101-s
·psg500/500-s psg502
·皮拉尼电容膜片复合真空计pcg400 pcg410 pcg550
1）有皮拉尼规与特制的陶瓷薄膜规合成在一起
2）两种原理的规管全过程都工作
3）100 mbar—1000 mbar 使用薄膜规信号
4）1 mbar– 100mbar 两规信号同时采用
5）5x10-4mbar –1 mbar 采用皮拉尼信号
6）输出的真空度信号（电压）连续，无跳跃
7皮拉尼真空计应用行业
·各种高真空泵的前级压力测量，如光伏、镀膜、等离子行业
·各种中低真空测量，如照明，冶金
·真空连锁控制，高真空计的点火开关控制，如peg100
·psg050可*替代tr211，psg051可*替代tr216
·pcg400 pcg410(现在已升级为pcg550，pcg400/pcg410已经停产）与psg500 基本相同，但弥补了皮拉尼规大气测量段精度不足的弱点，而且不受气体类型的影响，在真空炉，单晶炉，多晶炉，蓝宝石炉上广泛应用
·psg100 psg101，与psg500/psg050基本相同，但以为具有通讯协议功能，在大系统中应用广泛
二、电容薄膜规
cdg025d/cdg045/100/160/200
1电容薄膜规工作原理
·压力使膜片变形，变形量与压力大小成比例关系
·通过测量不同压力下的陶瓷膜片的变形量测量真空度
2电容薄膜规特点
·以可靠的超纯陶瓷传感器室为基础构成
·在严酷和腐蚀性环境中,稳定与可靠的高精度压强测量
·快速的预热和恢复时间,提高生产率
·的长期稳定性,再现性和重复性
·由于电子学直接安装在传感器上,改进了温度补偿和emc兼容性
·对环境条件变化的敏感度的降低使得测量更稳定
·快速预热在开机的一分钟内达到快速稳定和进入准备使用状态
·一键按钮: 调零功能和设点调整
·抗腐蚀超纯陶瓷传感器
·能经受数百万次压强循环周期,包括大气压冲击,无任何降低性能的迹象
·暴露大气压后快速恢复,无需隔离阀
·对蒸气介质不敏感
·先进的传感器屏蔽 ()延长真空计在污染的工艺过程中的使用寿命
3inficon陶瓷技术
·陶瓷技术的优越性
1）无 “记忆” 效应2）陶瓷无疲劳问题3）的温度补偿4）的零点稳定性
·低使用成本
1）非凡的使用寿命2）无需隔离阀
4sky cdg025d测量范围
5加热型薄膜规
6加热型优点
·零飘极小0.1%fs/年（干净真空环境）
·更高的精度
·环境温度变换/环境压力变化/环境气流变化对精度无影响
·比工艺更快的预热启动时间’
·快速恢复时间 大气压 < 1 min within 5mv
·任意安装角度
·抗污染，可有效抵抗工艺气体或工艺产生气体的腐蚀影响
7电容薄膜规的应用
要求高的应用条件下，而快速的压强测量
·用于刻蚀，cvd、pvd、ald半导体设备制造，如太阳能光伏行业的pecvd用的很多，刻蚀上一般用陶瓷型的cdg025d-x3比较多，抗污染性能比较好。一般国内用的pecvd还有多晶炉上用的mks的电容薄膜规622a/626a/627d和inficon的cdg025d比较多，如德国ruth&rau公司的pecvd设备标配产品为mks的626b13tde和627d01tdc1b,质量流量计用的是1179bx23cr14vspc1 800sccm/sih4和1179bx5cr14nspc1 2000sccm/nh3，国内用的好多pecvd设备上用的是inficon的cdg025d。
·资料贮存和显示器制造设备
·工业真空设备
·常用高精度真空测量
三、热电离规
1热电离规原理
richardson 效应: 高温灯丝发射电子，高能量电子撞击气体分子，气体分子的一个或多个电子被撞击出去，形成带正电的离子。
1）带电离子被离子收集极捕捉收集放大输出
2）离子流的大小与气体压力成比例关系
2两种类型热电离规
3热电离型复合规
·hpg400
·bpg400/-sp/-sd/sr
·bpg402
·bcg450 b-a规，皮拉尼规，薄膜规三种型号复合在一起
4优点及应用
·bpg
■测量范围宽，一个规管覆盖13个量程5x10-10–1000 mbar
■精度高，*的重复性5%
■灯丝材料镀钇的铱丝有*的抗氧化能力，皮拉尼自锁保护，使灯丝并不会因突然暴露大气而烧毁。
■方便的校准调节
■注意事项：
◆对气体有选择性
◆抗污染能力弱
■普遍应用于从低到超高真空的测量
■在工业，半导体，研究行业应用广泛
bpg402
■双灯丝，大大延长使用寿命
■电离规的工作可以自定义控制
■探头备件自带校准参数，保证精度与重复性
hpg400
■电离规与皮拉尼的复合
■皮拉尼自锁保护电离规
■电离规的工作启动点可以一定范围内自定义
■简易的校准功能
■相对便宜的价格
bcg450
■可调的电离规工作起点
■的重复性
■的大气端测量
四、冷电离规（潘宁规）
1冷电离规原理
通过气体放电方式产生电子，通过磁场使电子获得能量将气体分子电离。
2潘宁规特点与应用
·测量范围：5 x 10-9 to 1 x 10-2 mbar
·全金属密封
·无灯丝
·易清洗
·应用于普通的高真空测量
3冷规复合规mpg400特点与应用
·冷规与皮拉尼规的复合
·测量范围广： 5x10-9-1000 mbar
·易于保养清洗
·无高真空灯丝，
·应用于普通高真空测量
4冷规及复合规性能比较