随着mems技术的不断发展和进步，mems加速度计在航空、军事、汽车等领域中已经得到了广泛的应用和研究。而近年来，基于硅纳米波导倏逝场耦合的超紧凑光学式mems加速度计也逐渐成为了研究的焦点和热门领域。
硅纳米波导是一种介质透明的硅基结构，其具备亚微米级别的结构大小、较高的折射率、透明度和低损耗等特点，这些特性使得硅纳米波导在微纳光子学和光电学领域中得到了广泛的应用和研究。而倏逝场耦合则是指两个波导之间通过其表面振动的耦合作用，而形成了新的耦合波导。通过利用倏逝场耦合作用，可以将计算机的电信号转换为光信号，从而实现光学式mems加速度计。
超紧凑光学式mems加速度计是一种利用mems技术制造的加速度传感器，其利用了光学元件产生和探测质量及力学参数对光的影响， 将质量及力学参数转化为容易测量的光学信号，从而实现对加速度的测量。它具有体积小、重量轻、功耗低、精度高等特点，广泛应用于导航、航空航天、物流、汽车以及运动健康等领域。
然而，超紧凑光学式mems加速度计的制造与应用仍然存在一些挑战。首先，制造过程需要利用微纳米加工技术，制备精细的硅纳米波导结构；其次，超紧凑光学式mems加速度计的灵敏度和稳定性需要进一步提高和优化；最后，其在多个领域的应用需要进一步验证和实践。
总之，基于硅纳米波导倏逝场耦合的超紧凑光学式mems加速度计是一种极为有潜力的mems加速度计技术，其在精度、灵敏度和稳定性等方面具有巨大的发展空间和前景。未来，随着技术的不断进步和完善，超紧凑光学式mems加速度计将会得到更加广泛的应用和繁荣发展。