xd603系列压电纳米定位台是一维x向运动压电平台，平台采用抗振动设计，内置高可靠性压电陶瓷，无摩擦柔性铰链导向机构，具有分辨率高、行程大等特点。
特性
一维x轴运动
行程范围可达±165μm
抗振动设计
高低温版本
闭环精度高
大行程、高可靠性、高稳定性
xd603为压电陶瓷驱动、高可靠性压电纳米定位台，可以实现±165μm的位移行程，优异的结构设计具有无摩擦、导向精度高等特点。
闭环版本内部配有高分辨率及快速响应的应变传感器（sgs），配备在驱动机构的合适位置，它可向控制器反馈高带宽、高精度的电压信号。与e70系列控制器配套使用，具有高稳定性。
技术参数
型号：xd603
运动自由度：x
行程范围（0~120v）：±130μm
行程范围（0~150v）：±165μm
闭环传感器：sgs
闭/开环分辨率：12/5nm
闭环线性度：0.1%f.s.
闭环重复定位精度：0.04%f.s.
俯仰/偏航/滚动：1μrad
推/拉力：300/30n
运动方向刚度：1.2n/μm
空载谐振频率：490hz
闭/开环空载阶跃时间：80/40ms
承载能力：0.6kg
静电容量：24.6μf
工作温度：-40~+80℃
抗振设计：半正弦15g，11ms
后峰锯齿波20g，11ms
材质：钢、铝
重量：950g
推荐控制器
xd603系列压电位移台，可搭配芯明天e70系列压电控制器使用，模拟与数字控制，体积小巧，高性能搭配。