mprobe vis薄膜测量系统是紧凑且多功能的台式系统。它可以测量不同基板上10nm – 150μm厚度范围的半透明薄膜。而且,它经济且易于使用。mprobe vis(x) 的生产版本设计用于承受振动并使用 lan 连接 24/7 全天运行。它可用于在线和oem应用。它与洁净室环下面文章将为您具体讲解下《优势供应semiconsoft薄膜厚度测量系统mprobe vis》等内容,还请感兴趣的继续阅读了解一下,谢谢!
mprobe vis薄膜测量系统是紧凑且多功能的台式系统。它可以测量不同基板上10nm – 150μm厚度范围的半透明薄膜。而且,它经济且易于使用。mprobe vis(x) 的生产版本设计用于承受振动并使用 lan 连接 24/7 全天运行。它可用于在线和oem应用。它与洁净室环境兼容。mprobe20 visx系统是mprobe20 vis系统的一个版本,在更长的波长(>700nm)下具有更高的灵敏度。
性能特点
经济且易于使用
技术参数
产地:美国波长范围(可用):400-1000nm(典型校准范围:380-1050nm)和visx的450nm -1050nm波长分辨率:< 1nm,20μm狭缝(整个光谱均匀)厚度范围 : 10nm – 150 μm精度/重复性:<0.01nm 或 0.02%精度:<1nm或0.2%测量光斑尺寸:< 1mm(标准)最小数据采集时间:10 μs光源:5w th灯,使用寿命10000小时(可选:20w th灯,使用寿命2000小时)通信接口:usb和1gb lan
产品参数
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