微位移测量系统作为一种非接触式的，能够测量微小相对位移、微振动和微小尺寸的仪器，具有温度稳定性好、测量范围大、测量精度高、动态响应好、结构简单等一系列优点，它的相对变化量大，能在特殊环境下工作，如在强光照射下、在核辐射条件、过载冲击震动环境等。所以在航空、航天、工业生产加工、超精密测量等领域中具有广泛应用。它与常规的光电传感器、电阻式、电感式传感器相比有如下优点：
1．输入能量极低，需要非常小的输入。由于带电极板间静电引力很小，约到10-5n量级，因此它特别适用于解决输入能量低的测量问题，如微小位移和微小压力变化的精密测量。
2．可以获得较大的相对变化量。如对金属应变传感器来说，由于应变极限的限制，rr?一般低于1%，数值很小。而对于电容式传感器，电容相对变化量cc?只受到线性和其他实际条件的限制，若采用高线性电路时，其cc?可达到或更大，这就可大大提高传感器的输出信号。
3．温度稳定性好。微位移测量系统的电容值一般与电极材料无关，取决于几何尺寸，只从强度、温度系数、抗蠕变能力等机械特性考虑，有利于选择温度系数低的材料，因其本身发热极小，影响稳定性甚微。