热式气体质量流量控制器
型号；ldx-s48 32/hmt
编号
项目
s48 32/hmt
1
流量规格
(10,20,30,50,100,200,300,500)ml/min;
(1,2,3,5,10,20,30)l/min
2
调节阀类型
电磁调节阀
3
调节阀静止状态
常闭
4
安装方向
任意
5
流量控制范围
2%-
6
流量测量范围
(0-100)%
7
零点温漂
0.6%f.s.(15~35℃)
8
响应时间
2s(t98,设定值的±2%f.s.)
9
工作环境温度
5~50℃
10
精度保证温度
15~35℃
11
精度
±1.0%f.s
12
线性
±0.5%f.s
13
重复精度
±0.2%f.s
14
工作压差范围
~5l/min:(0.05-0.3)mpa
10l/min~30l/min:(0.1-0.3)mpa
15
耐压
3mpa
16
漏率
1×10-8pa.m3/s(he)
17
管路接头
1/4′swagelok,φ6mm-φ10mm
18
供电电源
±15vdc(±5%) ＋15v,100ma;－15v, 200ma
19
设定信号
(0-5)vdc
输入阻抗>1mω
20
流量输出信号
(0-5)vdc
负载输出电流能力≤3ma
21
电气接头
d-sub15
22
尺寸 (mm)
113（宽）×121（高）×32（厚）