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·5e-15乇mdpp（100amu版）
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典型应用:
·氦检漏各种工具模块
·模块的条件进行预防性维护监测
·记录数据后预防性维护
·率上升的测量
·背景状态监测
以上说明了美国inficon电子检漏仪产品优质供应商。