产品特点:性价比高、响应速度快、可靠性高,易于集成、环路保护、备总量计数器典型应用:cvd、pvd、刻蚀、等离子注入、溅射、ito、玻璃镀膜、表面处理等镀膜工艺。设计特点:-刚性金属结构-流程范围从0开始到10sccm直到0到1000slpm-*大压力500psig(34.5bar)-泄漏率1*10大家好,下面由小编分享给大家《销售原装进口aalborg气体质量流量计产品优质供应商》。下面详细解释一下。现在让我们来看看!销售原装进口aalborg气体质量流量计全系列产品型号齐全,质量保证,售后完善,欢迎在线咨询:诚信并重视每一位客户,提供一对一专业服务~ 产品特点:性价比高、响应速度快、可靠性高,易于集成、环路保护、备总量计数器
典型应用:cvd、pvd、刻蚀、等离子注入、溅射、ito、玻璃镀膜、表面处理等镀膜工艺。
设计特点:
-刚性金属结构
-流程范围从0开始到10sccm直到0到1000slpm
-*大压力500psig(34.5bar)
-泄漏率1*10-7氦气
-nist系统标定可追踪的证明
-可倾斜的lcd读表
-0-5vdc或4-20ma信号输出
-电路保护
-可用作便携式的设备
-0到100比例显示
-可配备流量计算机
精度:±1.5%满量程,包括59℉到77℉的气体温度(15℃到25℃)和5到60psia(0.4到4.1bar)的压力。可选±1%满量程(标定精度),在给定的温度与压力值条件下。
重复性:±0.5%满量程
回应时间:实际流速±2%超过满量程25-100一般2秒
温度系数:0.15%满量程/℃
压力系数:0.01%满量程/psi(0.07bar)
气体/周围温度:32℉-122℉(5℃-50℃)
输出信号:0-5vdc,*小1000ω。4-20ma、0-250ω回路电阻
传感器输出:+12vdc;*大200ω。+24vdc可选
时间恒量:800ms
以上说明了销售原装进口aalborg气体质量流量计产品优质供应商。