洁净室氮气柜是一种用于保护光敏材料等对空气中微小粒子非常敏感的物质的设备。主要通过向工作区供应高纯度氮气，从而将空气中的有害微粒和湿气排除。结构由上、下两部分组成，上部为氮气发生器，下部为储存仓和过滤系统。氮气发生器采用电解技术，将普通空气中的氧气和氮气分离，得到高纯度的氮气，其纯度可达99.99%以上。储存仓内装有氮气储罐，过滤系统则包括粗滤、精滤和活性炭吸附三个部分，以去除残留的杂质和异味。
洁净室氮气柜通过氮气发生器产生高纯度氮气，并将氮气通过管道输送到工作区。工作区内的空气被排出，使得微粒和湿气不会进入工作区域，从而保证工作区的环境干净、无尘、无水汽等。同时，氮气柜内储存仓和过滤系统可以去除残留的杂质和异味，确保供气的氮气纯度不受影响。主要应用于光学、电子、半导体等行业中对精密加工和材料制备要求高的工作环境。例如，在半导体生产中，可以用于保护光刻胶在接触式光刻机上的稳定性，防止有害微粒和湿气对光刻胶的污染。
优点：
1.高纯度氮气：可以提供高纯度氮气，确保工作区的环境干净、无尘、无水汽等。
2.安全可靠：氮气柜内部设有安全阀和泄压装置，确保氮气柜的安全运行。
3.节能环保：氮气发生器采用电解技术，无需化学反应，避免了有害物质的排放，并且具有节能的优点。
4.易于操作：氮气柜的操作简单方便，仅需按下开关即可启动。
洁净室氮气柜是一种用于保护对微小粒子非常敏感的物质的设备，其主要原理是通过向工作区供应高纯度氮气，从而将空气中的有害微粒和湿气排除。它适用于光学、电子、半导体等行业中对精密加工和材料制备要求高的工作环境，并具有高纯度氮气、安全可靠、节能环保、易于操作等优点。