执行机构用以实现机电一体化产品的主功能。它应能完成预期的动作，并具有响应速度快、动态特性好、动静态精度高、动作灵敏度高等特点。为便于控制，它还应满足效率高、体积小、质量轻、自控性强、可靠性高等要求
机电一体化产品具有信息处理系统、物流系统、加工系统、是以能量、物质和信息的传递、处理、转换、保存等为目的的技术系统，为实现不同的目的功能，需采用不同形式的执行机构，如电动的、机械的、电子的、激光的等等。
微动机构
微动机构是一种能在一定范围内精确、微量地移动到给定位置或实现特定的进给运动的机构。微动机构一般用于精确、微量地调节某些部件的相对位置。
微动机构的性能好坏在一定程度上影响系统的精确性和操作性能，因而要求其满足如下基本要求：
低摩擦、高灵敏度，最小移动量达到使用要求
传动平稳、可靠，无空程和爬行，有足够的刚度，制动后能保持稳定的位置
抗干扰能力强，快速响应性好
具有好的动特性，即响应频率高
良好的结构工艺性
应能实现自动控制
微动机构按执行件的运动原理不同分为：
弹性变形式
双螺旋差动式
热变形式
磁致伸缩式
电致伸缩式