高纯气体分析色谱仪配备先进检测器，对几乎所有无机和有机化合物均有很高的响应，特别适合高纯气体的分析，是能够检测至ng/(ppb)级的色谱仪。
测试前准备
在图纸上标出要进行压力测试的管路,以及保压计的放置位置。测试中在管线上拆卸的任何部件都要在图纸以及最后的测试报告中标出。测试开始之前，仔细的检查管线以确保给高纯气体分析色谱仪增压时的安全。保证所有已经安装的配件的额定承受压力都满足或超过测试的压力。拆除不满足要求的配件和系统。
测试方法
（1）让保压计与系统的隔离阀处于“关闭”状态。
（2）将保压计的管线支路压力增加到20psig。
（3）慢慢打开隔离阀。
（4）每次增加10psig，缓慢的将系统压力增加到最终测试压力的50%。观察保压计10到15分钟，看系统有无泄漏。如保压计显示系统有泄漏，则减小系统压力并处理漏点。重复上述操作。
（5）确认系统无任何泄漏后，慢慢的增加系统压力到测试值，断开气源，最少观察压力表30分钟（二次配的管路为10分钟）看系统有无泄漏。
（6）在高纯气体分析色谱仪的压力稳定并显示无任何压降后，在压力测试报告中记录测试开始时的温度、时间和压力值，并通知业主方代表到现场确认。