涂层测厚仪在使用前一般需要校准，以德国elektrophysik minitest1100/2100涂层测厚仪为例：
1、校准方式
minitest1100/2100有以下五种不同的校准方式：
标准校准:适合平整光滑的表面和大致的测量。例如，低于一点校准精度要求的场合。一点校准:置零，不用标准箔。用于允许误差超过3%的场合。·二点校准:置零，用一片标准箔。用于误差范围在1-3%(zui大)之间的测量。探头误差范围应另考虑。二点校准:臵零，用二片标准箔。用于以下场合: a).在粗糙表面测读;
b).厚度在两片箔厚之间的平滑表面的测量。
透过厚度未知涂层的校准:用箔校准(仅适用于f06、f1.6、f3、作f用的fn2测头,以及f1.6/90、f2/90、f10、f20、f50探头)。如果被测样本在校准时，没有无涂层的用于比较的样本，应当采用此法校准。注意:校准箔是指所有的校准标准，包括2mm，5mm，10mm厚的标准板。
2、 保存校准值
仪器在条件下校准，其校准值即存入内存，直到再次校准(见3.1.8)。若使用同一个探头，要改变校准值，只需重新做一次校准，这样就自动删除先前的校准值，存入新值备用。
注意:在校准过程中出现下列情况必须重新校准：
·读入错误读数
·输入错误命令
·仪器关机
3、校准举例
的测量必须校准，校准样本越接近被测样本，校准和测量就越准确。例如:如果被测样本是一个直径为6mm的低碳钢柱，那么无涂层校准样本的直径和材料也必须相同。校准样本必须在下列几点上与被测样本相符:
·表面曲率半径
·基体材料
·基体厚度
·被测面积
校准样本上，校准点位置必须与产品的测量点一致。如果测量小样本或边角位臵，用精密支架定位。
4、基体厚度的影响
只要钢基体厚度大于探头的量程，对测量就没有影响。
对于有色金属，基体厚度大于40μm就足够了。但要保证基体在探头接触压力下不变形，例如可以把一块薄铝片放在硬质基体上测量。随附的钢、铝零板仅用于测试，一般不用于校准。除非待测样本表面平滑并具备以下条件，零板方可用于校准:
1)钢部件厚度超过1mm，可以把零板放在被测样本上校准。
2)铝部件厚度超过40μm，所附铝箔可用于校准。测量时要把铝箔紧贴在一块硬质基体上。
5、提高校准精度
为得到高精度校准，有必要将校准值(零值和校准箔值)逐次存入多次。这样，仪器会自动形成一个平均校准值，这种方式在非平滑，例如喷丸表面校准特别有利。
6、 清洁测点
校准前，测量点和探头顶部的油渍，金属碎屑须清除干净。少量的杂质也会影响测量，改变读数。
7、“嘀嘀”声鸣响信号
校准和测量中，仪器呜响之前探头都不得移位。呜响后探头才能离开。
8、温度补偿特性
在不同的环境温度下仪器无需重新校准。仪器自动对温度变化补偿(见技术数据)。