parker派克膜片减压阀产品描述：
uhp 超高纯束缚膜片减压阀 (压力高达 250 psig) – smsq2micro系列 | #45800745-1
smsq2micro30102
派克veriflo产品组smsq2micro (0.06 cv)和smsq2micro130e (0.15 cv)是市场上*的微型超高纯减压阀。产品提供精密且稳定的压力控制，提高了mfc（质量流量控制器）的性能，这对半导体生产的重复性和产量至关重要。产品同样表现出优异的泄露完整性和底粒子生成，以减少对半导体应用中至关重要的的过程污染.
减压阀适用于惰性气体和腐蚀性气体，为阶跃函数流量需求变化提高出色响应。产品采用自动定心束缚膜片设计，提供稳定阀座密封和压力调节。没有阀芯弹簧和阀座滞留螺纹，这样大限度减少粒子生成和截留，进一步提高工艺清洁度和吹扫性能.
parker超高纯束缚膜片减压阀工作原理：
smsq2micro接液部件由特殊金属制备，提供优异的耐腐蚀性和泄漏完整性。阀体材料为内部电解抛光 vericlean? 316l不锈钢。vericlean? 是派克公司的uhp超高纯级不锈钢。膜片和阀芯材料为哈氏合金 c-22?。这些材料与smsq2micro系列设计特点相结合，使smsq2micro系列具有强耐腐蚀性和更高循环寿命，入口压力高达250. smsq2micro和smsq2micro130e均采用与量子阀相同间距接口，符合semi模块化接口规范.smsq2micro系列减压阀的内部（阀座）密封和金属外部密封通过氦泄漏测试，使用质谱仪以获得在苛刻超高纯应用中的性能和稳定性.
parker派克膜片减压阀特点和优势:
有c 和 w密封贴面安装1-1/8
和1-1/2
阀体尺寸
极低粒子数
束缚膜片有效减少接液部件的弹簧，增加安全性
smsq2micro0.06 cv,smsq2micro130e 0.15 cv
出口压力范围： -10 psig 到 60 psig
内漏率:≤ 5 x 10-8 scc/sec立方厘米/秒 he
外漏率:≤ 2 x 10-10 scc/sec立方厘米/秒 he
5微英寸(ra粗糙度)电解抛光表面处理
工作压力范围：-40°f 至 +150° f (-40°c 至 +66°c)
parker派克膜片减压阀应用:
腐蚀性和特殊气体
半导体工具
工具挂钩
气体柜
阀组箱 (vmb)