真空快速退火炉用于小零件等在真空状态下的退火；炉罐密封性好，有效的避免了工件在退火处理中的表面氧化、生锈，提高了处理质量；
真空快速退火炉应用领域介绍：
- 离子注入/接触退火；
- 快速热处理(rtp)，快速退火(rta)，快速热氧化(rto)，快速热氮化(rtn)；
- 可在真空、惰性气氛、氧气、氢气、混合气等不同环境下使用；
- siau, sial, simo合金化；
- 低介电材料；
- 晶体化，致密化；
- 太阳能电池片键合；
真空快速退火炉使用的注意事项有：
1. 炉子使用或长时间不用后，要在120℃左右烘烤1小时，在300℃左右烘烤2小时后使用，以免造成炉膛开裂。炉温尽量不要超过额定温度，以免损坏加热元件及炉衬。禁止向炉膛内直接灌注各种液体及溶解金属，保持炉内的清洁。
2. 炉膛若采用石英管，当温度高于1000℃时，石英管的高温部分会出现不透明现象，这叫失透（又叫析晶性）是连熔石英管的一个固有缺陷，属正常现象。
3. 冷炉使用时，由于炉膛是冷的，须大量吸热，所以低温段升温速率不易过快，各温度段的升
温速率差别不易太大，设置升温速率时应充分考虑所烧结材料的物理化学性质，以免出现喷料现象，污染炉管。
4. 定期检查温度控制系统的电器连接部分的接触是否良好，应特别注意加热元件的各连接点的连接是否紧固。
5. 炉子使用过一段时间后，若真空度降低，可分别更换不锈钢法兰盘之间的耐温硅胶圈或重新安装不锈钢法兰盘或更换修理真空系统，以提高系统的整体真空度。
6. 炉子在工作过程中，一般在300℃左右若控制偏差还不能消除，出现温度显示值与程序给定值不符或摆动过大，检查参数“m5、p、t”设置是否准确。