气体流量计/质量控制器质量流量控制器（0-20）氮气型号:qx05-d07-9e
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1
流量规格
( 0~20,30,50,100,150,200,250) slm
2
准确度
±2 % f.s
3
线性
±1 % f.s
4
重复精度
±0.2 % f.s
5
响应时间
(1 ~ 4) sec
6
工作压差范围
20 , 30 slm: (0.05 ~ 0.30) mpa （7.3~43.5 psid）
50,150 slm: (0.10 ~ 0.30) mpa （14.5~43.5 psid）
200,250 slm: (0.15 ~ 0.30) mpa （21.8~43.5 psid）
7
耐压
3 mpa （435.1 psig）
8
工作环境温度
5 ℃ ~ 45 ℃
9
输入输出信号
0 v ~ +5.00 v
(输入阻抗大于100k, 输出电流不大于3ma)
10
电源
+15 v 50 ma
-15v 400 ma
11
外形尺寸
见图4
12
重量
2.6 kg
0-20slm