thinksrs残余气体分析仪rga系列— 100、200和300 amu分析仪
100、200和300 amu系统分辨率优于1 amu6个数量级的动态
单次扫描的范围5 x 10-14
托检测极限rga视窗软件rs-232和以太网接口
坚固的探头设计
探针由离子发生器、四极滤质器和检测器组成。简单的设计有少量的零件，最大限度地减少排气，
并减少将杂质引入真空系统的机会。探头组件坚固耐用，安装在标准2英寸cf法兰。除了离子发生
器之外，它被不锈钢管覆盖，离子发生器在真空系统中只需要2英寸的间隙——大约是标准离子规
的间隙。探头采用自动校准部件设计，因此在清洁后可以很容易地重新组装。
关键词：气体分析仪