等离子清洗机不同气体颜色都是什么样的：
等离子清洗机的起弧装置让具有活跃能激发态的原子、离子或分子向下能越级发光，从而形成等离子体的颜色。因为每种气体中的能级有不同的能量转换，所以每种工艺气体表现出不同的发光特性，从而产生不同的颜色特性。等离子清洗过程中常用的典型气体颜色如下：
cf4：蓝色
sf6：淡蓝色
sif4：浅蓝色
sicl4：浅蓝色
cl2：浅绿色
ccl4：浅绿色
h2：粉红色
o2：淡黄色
n2：红色至黄色
br2：红色
he：红色至紫色
ne：砖红色
ar：暗红色
等离子清洗机的辉光颜色不仅可用于识别是哪种工艺气体，还可用于定性评估工艺气体是否不含污染物。