体积流量与质量流量的概念区别：
一般工业界在流量控制上分为体积流量与质量流量，分别如下：体积流量(qv):流量因压力、温度随之变化。质量流量(qm):流量不会因压力、温度随之变化。
两者有以下之关系：qm=pqv
其中p为流体之密度。
因为体积流量会随压力与温度而改变，所以并不是很；而制程用的气体流量控制与测量，则通常使用质流控制器，而质量流量之单位针对流体质量在时间止的比例而言，流体质量不因压力、温度而变化，所以单位以(g/sec)表之较为适当。但此种单位之表示方法，不容易直接体会，故一般仍以特定之温度，密度条件下之质量流量以体积流量(cc/min)表示之。